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先进涂层领域发布日期:2020-11-27
先进涂层领域面向3C产品、电子元器件、太阳能电池、MEMS传感器、光学、刀具等行业的特殊需求,研究具有超硬度、耐磨及润滑等特性的涂层材料、工艺及装备,支持“带状弯曲电弧磁过滤技术”、“等离子体操控技术”、“负正脉冲离子泵出”等新技术的成果转化及产业孵化。